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文章来源:shxj365 发布时间:2024-05-04 21:41:31
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与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11,其特征在于经氩气输入管12 输入的氩气气压为0. 8 x 103Pa0. 9 x 103Pa,氩气流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20,其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l,设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2。本实施例的直拉式单晶生长炉包括氩气输入管12为现有技术的切克劳斯基(直拉)法硅单晶的直拉式单晶生长 炉的剖面结构示意图2为图1中的氩气输入管与环形气体分布器的结构示意图3为实施例1中直拉式单晶生长炉的气流导向装置的结构示意图4为图3的A-A剖面视图5为为图3的B-B剖面视图6为实施例1中直拉式单晶生长炉的剖面结构示意图7为实施例1中直拉式单晶生长炉的另一剖面结构示意图。具体实施方式以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3,该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1,该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2,该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。电阻率,碳氧含量,位错密度)5设备工艺控制保6自动化控制程度7设备主要关键部件的配置等。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。购技术主要要求1.单晶炉装料量(单台机产能多少)2.能拉多长。氦气为主)环境中单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体(氮气几寸的硅棒3.拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命比如85炉氩气质量等\本文由rxl,欢迎大家完善。配置出合理的热场,从而保生产出来的单晶的品质。在晶体生长分析与设计中,实验与数值是相辅相成的,其过程可以分为两个部分:(1)在阶段。

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